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      • 行業(yè)動(dòng)態(tài)

        聚焦行業(yè)動(dòng)態(tài),洞悉行業(yè)發(fā)展

        氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么
        發(fā)布時(shí)間:2023-03-06   瀏覽:7100次

          氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么

          氣相沉積爐適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳-碳復(fù)合材料,也可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理,或以三氯甲硅烷(MTS)為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。

        氣相沉積爐

          裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)如下:

          1.多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

          2.采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)范圍??;

          3.氣相沉積爐設(shè)備自動(dòng)化高,關(guān)鍵執(zhí)行電氣件采用進(jìn)口;操作直觀、簡便,觸摸屏經(jīng)過開發(fā),可動(dòng)態(tài)顯示爐子運(yùn)行狀況并具有自我診斷功能,程序段可直接輸入。

          4.采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng)。


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          真空燒結(jié)爐怎么操作   真空燒結(jié)爐是指在真空環(huán)境中對被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子,其加熱方式比較多,如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。關(guān)于它的操作很多用戶都有些疑問,那么,燒結(jié)爐怎么操作的呢?   1、通電前檢查   真空燒結(jié)爐通電前,檢查各開關(guān)是否放在(關(guān))位,升溫方式為“手動(dòng)”,功率調(diào)節(jié)逆時(shí)針旋到頭(低)。確認(rèn)無誤后再根據(jù)工藝要求的順序來啟動(dòng)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。   2、測量爐內(nèi)真空度   根據(jù)真空計(jì)的操作進(jìn)行,當(dāng)達(dá)到要求的真空度時(shí),才能加熱升溫。   3、抽真空   緊閉所有的真空閥門,啟動(dòng)機(jī)械泵,待其運(yùn)轉(zhuǎn)正常后,打開通向爐體的低真空閥,預(yù)先對爐體抽氣,此閥打開時(shí)應(yīng)緩慢,以免機(jī)械泵排氣口處有油噴出。   4、打開真空閥   真空燒結(jié)爐爐體抽真空的同時(shí),打開真空閥,對擴(kuò)散泵抽氣,當(dāng)真空度達(dá)到15Pa后,先開啟擴(kuò)散泵上的冷卻水,然后對擴(kuò)散泵加熱,一般經(jīng)過45分鐘左右擴(kuò)散泵起作用,就可關(guān)上通向爐體的真空閥,打開真空閥,真空度很快可以達(dá)到1.33×10-1Pa以上,即可對電爐通電加熱。   5、加熱   次加熱因放氣較多,真空度容易下跌,另外工件加熱放氣也使真空下跌,所以要慢慢升溫真空度下跌到1.5帕停止加熱,等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加熱。因擴(kuò)散泵低于20帕就無法工作,另外擴(kuò)散泵油在太低真空下易氧化,導(dǎo)致擴(kuò)散泵無法作用。也可在低真空下加熱除氣,等放氣基本結(jié)束,再開高真空。另外電爐在不用時(shí)抽真空狀態(tài)下保存,下次抽氣快些。欲停止抽真空,應(yīng)先關(guān)閉高真空閥,然后停止加熱,1個(gè)半小時(shí)后,關(guān)閉低真空閥,停止機(jī)械泵運(yùn)轉(zhuǎn),只有在擴(kuò)散泵冷卻之后,才切斷其冷卻水供應(yīng)。   6、手動(dòng)升溫   在爐溫200℃以下先用手動(dòng)方式升溫,否則控溫不準(zhǔn)。在真空狀態(tài)下按加熱啟動(dòng)按鈕,緩慢調(diào)節(jié)手動(dòng)功率(順時(shí)針方向),使電流慢慢上升,禁止超過次額定電流1100A,電爐溫度隨之上升。1000-2000℃,可采用紅外自動(dòng)控制爐溫。   7、降溫   降溫可按預(yù)先設(shè)定的程序控制降溫,也可直接把加熱關(guān)閉讓其自行降溫。但降溫過程中不允許停水,否則真空燒結(jié)爐爐體密封圈會(huì)燒壞。

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